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MEMS元器件实现精确平稳的运动和动态影像检测

点击次数:更新时间:2020-06-01 10:27:47

在MEMS元器件上需要测量多种关键尺寸,包括弯曲的节距、宽度和间距、插接件、梳齿状元件、弧、圆直径和中心位置。由于对MEMS技术和元器件的大量需求和广泛性,尺寸从几微米到几毫米的范围不等。产品尺寸限制的原因,需要影像放大进行高精度检测。

众彩网彩票 另外,MEMS器件的核心是包含移动的组件。MEMS必须要么使其内部某个组件移动,要么允许某个组件根据外部影响移动,然后感知该移动。MEMS设备的运动部件通常采用弯曲,运动的检测,通常涉及到几组交错的“触手”或“梳齿”。对于精确的运动和运动检测,了解弯曲和动态检测元件的尺寸是至关重要的。

QVI系列影像测量仪器具有平稳精准的测量运动系统,可以确保MEMS元件所需的精确测量。